オリフィステスト結果
HydrostaticSlide0005.mp4
AerostaticSlide0003.mp4
今回開発した静圧スライドのテスト動画
油と空気を切り替えることで気体静圧スライドと油静圧スライドを同じ静圧スライドで実現

　 　　　　　　　　　　　
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X.Zスライド
・st=150mm
・レセス圧力制御を除く仕様はYスライドと同じ
Yスライド　
・st=500mm
・リニアモータ(油冷)
・磁気吸引力　4,500N
・最大推力　１,800N
・スライドギャップコントロール分解能10nm
・全レセス圧力モニター
・4箇所レセス圧力はリアルタイム制御





Hydrostatic Slide

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